<li id="r5llq"><meter id="r5llq"><th id="r5llq"></th></meter></li>
    <label id="r5llq"><meter id="r5llq"></meter></label>
    <span id="r5llq"><optgroup id="r5llq"><center id="r5llq"></center></optgroup></span>
    1. 銷售咨詢熱線:
      18516146837
      技術文章
      首頁 > 技術中心 > 牛津電子束鍍膜機在使用時需要注意些什么?

      牛津電子束鍍膜機在使用時需要注意些什么?

       更新時間:2022-07-24 點擊量:1539
        牛津電子束鍍膜機是化合物半導體器件制作中的一種重要工藝技術。它是在高真空狀態下由電子束加熱坩堝中的金屬,使其熔融后蒸發到所需基片上形成金屬膜。
        1、定期清潔真空室并盡量抹干,每次都*洗干凈,以免造成越來越難洗的現象。烘干后再鍍膜,頭一爐應比原來延長四倍時間才鍍膜。
        2、定期更換擴散泵油,更換真空泵及羅茨泵油。更換擴散泵油前一定要確認真空度是否低于1X102Pa,擴散泵里面的油溫是否*冷卻到常溫狀態后,方可進行加熱或充大氣進行拆卸,否則會產生傷害人的嚴重后果。
        3、平時整個系統要保持真空狀態,工作前才充入氣體,不要使真空室長期暴露在大氣中。
        4、牛津電子束鍍膜機經常檢查膠封是否良好,特別是動密封圈,定期給動密封處加上真空脂。
        5、定期檢查電氣元件,清除灰塵,更換燒壞的元器件。
        6、在真空狀態下不得拆卸擴散泵和閥門。拆卸的方法是:先將整個真空系統抽至真空狀態,注意不要加熱擴散泵,用手動打開精抽閥,然后按放氣閥按鈕讓系統充入大氣,當真空室充滿大氣后就可進行拆卸擴散泵和閥門。
        7、停旋片泵、滑閥泵時,要注意電磁閥(或氣動閥)是否向泵腔充氣,否則會引起回油,污染真空管道。因此,電磁閥(或氣動閥)充氣動作失靈時,必須及時進行修理或更換。
        8、對于偏北地區,在寒冷季節,夜間和較長時間停機時,必須用壓縮氣體將冷卻水趕出冷卻管道、泵體,以免凍裂冷卻水管(套)和泵體。
        9、精抽系統要待真空壓強達到3Pa后才能工作,若在過高的壓強下進行抽氣,會使擴散泵油氧化,降低抽氣能力,縮短泵油的使用壽命。
        10、為保證真空鍍膜設備有清潔的工作環境,滑閥泵排出的氣體必須用管道將它排出工作房之外,因為從滑閥泵排出的氣體含有很多微小的油霧會污染被鍍的工件,嚴重影響膜層的質量。
        11、牛津電子束鍍膜機在工作過程中不得斷水,采用的冷卻水必須清潔,不得使用硬水或濁水作為冷卻水,否則會使冷卻水管沉積一層水垢,影響冷卻效果。
      主站蜘蛛池模板: 四虎影院免费视频| 麻豆高清免费国产一区| 好男人看视频免费2019中文| 久久久久亚洲AV无码麻豆| 成av免费大片黄在线观看| 亚洲国产精品碰碰| 免费激情网站国产高清第一页| 日木av无码专区亚洲av毛片| 丁香花在线观看免费观看图片 | 午夜亚洲国产精品福利| 欧美a级成人网站免费| 亚洲Av无码一区二区二三区| 在线美女免费观看网站h| 久久久久亚洲AV成人无码| 久草免费福利资源站| 亚洲卡一卡2卡三卡4卡无卡三| 日本免费人成网ww555在线| 亚洲av无码乱码国产精品| 2017亚洲男人天堂一| 日韩吃奶摸下AA片免费观看| 亚洲一区欧洲一区| 成人一a毛片免费视频| 在线观看日本亚洲一区| 免费看a级黄色片| 国产精品自拍亚洲| 国产专区一va亚洲v天堂| 97国免费在线视频| 亚洲国语精品自产拍在线观看| 99热免费在线观看| 亚洲综合色7777情网站777| 免费看香港一级毛片 | 亚洲变态另类一区二区三区 | 亚洲熟女综合一区二区三区| 成人毛片视频免费网站观看| 国产成人亚洲午夜电影| 中文字幕在亚洲第一在线| 久久久久久国产精品免费免费男同| 337p日本欧洲亚洲大胆色噜噜| 在线v片免费观看视频| 国产成人综合亚洲一区| 亚洲五月综合缴情在线观看|