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QRUI-5系列探針臺簡介：
QRUI-5高低溫真空探針臺是我司自主研發(fā)的一款在特殊環(huán)境下給樣品加載電學信號的設備。可以實現器件及材料表征的IV/CV特性測試，射頻測試 ，光電測試等。通過液氮或者壓縮機制冷 ，可以在防輻射屏內營造一個穩(wěn)定的測試環(huán)境。在特殊材料 ，半導體器件等研究方向具有廣泛運用。一般用于相關單位實驗室。
QRUI-5系列探針臺產品優(yōu)勢：
防輻射屏和熱沉設計
降溫速度快 ，常溫降至 77k<25mins ，大大提高測試效率
液氮自動控制系統 ，液氮流量模塊和溫度控制模塊一起聯動共 同控制溫度
詳細參數：
產品類型 | 低溫開循環(huán) | 低溫閉循環(huán) | |
型號 | QRUI-5-196-N | QRUI-5-196-H | |
外形 | 900*900*600mm | 1000*1000*600mm | |
重量 | 約100KG | 約150KG | |
電力需求 | AC220V,50~60HZ | AC380V,50~60HZ | |
腔體 | 腔體尺寸 | 8英寸 ，帶4英寸高紅外透射率觀察窗 | |
樣品臺尺寸 | 2英寸/4英寸 | 2英寸 | |
樣品固定方式 | 真空導熱硅脂/彈簧壓片 | ||
真空度 | 10^-4pa最高真空 | ||
接口形式 | 電信接口 ，真空接口 ，光纖接口 ，冷源接口等 | ||
其它 | 帶防輻射屏和熱沉設計 | ||
溫控系統 | 制冷方式 | 液氮 | 液氦 |
溫控范圍 | 77K~473K | 4.2K~450K | |
溫控精度 | ± 0.1度 | ||
溫度穩(wěn)定性 | ± 0.1度 | ||
降溫速度 | 常溫降到77k優(yōu)于25mins | 常溫降到10k優(yōu)于180mins | |
控制方式 | 液氮自動流量控制 | 壓縮機控制 | |
光學系統 | 顯微鏡類型 | 體式/單筒/金相顯微鏡 | 體式/單筒顯微鏡 |
移動范圍 | 水平360度旋轉 ，Z軸50.8mm調焦/定制其它 | ||
真空腔觀察窗尺寸 | 2inch | 2inch | |
CCD像素 | 50W (模擬) /200W (數字) /500W (數字) | ||
探針臂 | 探針臂數量 | 最多6個 | |
X-Y-Z行程 | 50mm-25mm-25mm | ||
點針精度 | 10微米/2微米 | ||
漏電精度 | 10pA/100fA | ||
接口形式 | 三軸/SMA/K/光纖接口 | ||
探針 | 頻率范圍 | DC-67G | |
| 1um/2um/5um/10um/20um可選 | |
材質 | 鎢鋼 ，鈹銅 | |
真空系統 | 機械泵/分子泵組/離子泵 | |
可選附件 | 防震桌 ，鍍金卡盤 ，氣敏測試組件等 | |
應用方向 | 高低溫真空環(huán)境下的芯片測試 ，材料測試 ，霍爾測試 ，電磁輸運特性等 | |
產品特點 | 防輻射屏和熱沉設計 | |
液氮自動控制系統 ，液氮流量模塊和溫度控制模塊一起聯動共同控制溫度 | ||
降溫速度快 ，常溫降至77k<25mins ，大大提高測試效率 | ||
詳細配置方案可討論后給出
